“진공 기술에 대한 기초 이론에서부터 각종 제조공정 기술과 장비에 대해 소개”
진공 기술은 전기･전자, 기계, 재료, 우주항공, 물리, 생물 및 화학 등 다양한 기초과학과 공학을 토대로 반도체나 평판 디스플레이와 같은 첨단산업, 우주항공, 핵물리 및 신소재 개발을 위한 미래 산업, 그리고 각종 산업응용이나 식품/의약 등에 다방면으로 응용할 수 있다.
이 책은 첨단 산업의 전문인력을 육성하기 위해 필요한 기본적인 교재로서, 크게 2편으로 나누어 구성하였는데, 즉 진공 기술과 공정 기술로 구분하였다. 먼저 1편에서는 진공의 기초 개념, 기체 운동, 진공 펌프, 진공 게이지 및 진공 누설 등에 대해 정리하였고, 2편에서 공정 기술은 액정 디스플레이 제조기술을 공정별로 분류하여 정리하였는데, 반도체 기술을 접목한 TFT 제조공정, 칼라 필터 제조공정, 셀 제조공정, 모듈 제조공정 및 백라이트 제조공정 등을 기술하였다.
▶ 김현후
현재 두원공과대학교 디스플레이공학계열 교수
▶ 김외조
현재 두원공과대학교 디스플레이공학계열 교수
▶ 김원식
현재 엘티씨(주) 기술개발연구소 수석연구원
▶ 이상돈
현재 강릉원주대학교 전기공학과 교수
▶ 임기조
현재 충북대학교 전기전자컴퓨터공학부 교수
PART 1. 진공기술
Chapter 01 진공 기초
1.1 진공의 바다
1.2 진공 역사
1.3 진공 성질
1.4 진공 기술
Chapter 02 기체 운동
2.1 기체 성질
2.2 기체 법칙
2.3 기체의 전달현상
2.4 기체 흐름
2.5 기체와 고체 표면
Chapter 03 진공 펌프
3.1 진공 펌프의 성능
3.2 러핑 펌프
3.3 고진공 펌프
Chapter 04 진공 게이지
4.1 진공 측정의 원리와 종류
4.2 직접 측정 게이지
4.3 간접 측정 게이지
4.4 잔류 가스 분석기
Chapter 05 진공누설
5.1 누설의 원리
5.2 누설의 검출
5.3 누설의 방지
PART 2. 공정 기술
Chapter 06 TFT제조공정
6.1 박막 트랜지스터
6.2 박막증착 공정
6.3 노광 공정
6.4 식각 공정
6.5 세정 공정
Chapter 07 칼라필터제조공정
7.1 칼라 필터의 구조
7.2 BM의 제조
7.3 칼라 필터의 특성
7.4 칼라 필터의 제조
7.5 칼라 필터의 재료
7.6 칼라 필터 기술
Chapter 08 셀 제조공정
8.1 배향막 공정
8.2 러빙 공정
8.3 스페이서 산포 공정
8.4 합착 공정
8.5 절단 공정
8.6 액정 주입 공정
8.7 배향막 기술
Chapter 09 모듈 제조공정
9.1 세정 및 편광판 부착 공정
9.2 탭 부착 및 탈포 공정
9.3 인쇄 회로 기판 부착 공정
9.4 백라이트 조립과 에이징
9.5 인쇄 회로 기판을 사용한 모듈 비교
9.6 액정 디스플레이의 구동 방식과 회로
Chapter 10 백라이트 제조공정
10.1 백라이트의 구조와 기능
10.2 광원
10.3 광 반사판
10.4 반사판
10.5 도광판
10.6 확산판
10.7 프리즘 시트
10.8 보호 시트
10.9 광원의 위치에 따른 백라이트 분류
▪ 참고자료
▪ 부록
▪ INDEX
